建设单位/用人单位名称

杭州中芯晶圆半导体股份有限公司

项目地址

杭州大江东产业集聚区江东工业园区

联系人

林琳

项目名称

半导体大硅片（200mm、300mm）项目

项目简介

伴随着我国经济的高速发展，我国对各类半导体产品需求大幅增加，我国已成为带动全球半导体市场增长的主要动力，特别是中国政府发布“中国制造2025”之后，半导体产业再次成为我国产业进步的主战场。

目前，大尺寸硅晶圆片的产能越来越向少数主要厂商集中，全球200mm和300mm半导体硅片主要由日本的信越和SUMCO、中国台湾的环球晶圆等三大硅材料生产商生产，这些大公司具有很大的市场占有率和很强的技术优势。随着市场对硅晶圆片需求的增加，硅晶圆片的供应将日趋紧张，硅晶圆片将会面临涨价的局面，为了摆脱大尺寸半导体硅晶圆片依赖国外的局面，日本磁性技术控股股份有限公司（45%）、杭州大和热磁电子有限公司（35%）和上海申和热磁电子有限公司（20%）联合出资成立的杭州中芯晶圆半导体股份有限公司，并计划投资60亿元人民币在杭州大江东产业集聚区建立国内200mm及300mm半导体硅抛光片生产基地。

根据《中华人民共和国职业病防治法》第十七条规定：新建、扩建、改建建设项目和技术改造、技术引进项目（以下统称建设项目）可能产生职业病危害的，建设单位在可行性论证阶段应当进行职业病危害预评价。2018年8月，杭州中芯晶圆半导体股份有限公司委托浙江多谱检测科技有限公司进行杭州中芯晶圆半导体股份有限公司半导体大硅片（200mm、300mm）项目职业病危害预评价工作。

可能存在的职业病危害因素

主要职业病危害

因素

氟化氢、过氧化氢、氮氧化合物、氨、乙酸、硫酸、氯化氢及盐酸、氢氧化钠、氢氧化钾、三氟化氯、异丙醇、甲醇、四甲基氢氧化铵、工频电场、紫外辐射、激光、噪声

评价结论与建议

评价结论

根据《中华人民共和国职业病防治法》和《建设项目职业病危害风险分类管理目录》（安监总安健〔2012〕73号）等有关法律、法规、标准和规范的规定，本项目为“计算机、通信和其他电子设备制造业”行业，结合对本项目工作场所可能存在职业病危害因素的毒理学特征、浓度（强度）、潜在危险性、接触人数、频度、时间、职业病危害防护措施和发生职业病的危（风）险程度等进行综合分析后，确定本项目为“职业病危害较重”建设项目。

在正常生产过程中，清洗、刻蚀、扩散工序临时性保养和例行性保养、来料取样等产生有毒有害物质的作业，化学品的运输、储存、使用和管理，尤其是高毒物品（如氢氟酸、硝酸、四甲基氢氧化铵等）的运输、储存、使用和管理；工人进入环保处理塔、污水处理池等进行密闭空间作业时预防急性中毒、通风系统的维护及定期检维修以及加强应急救援培训和演练应作为企业职业卫生管理的关键控制点。

在采取了《可行性研究报告》和本评价报告所提职业病防护措施及建议的前提下，预测本项目工作场所职业病的接触水平均不超过职业接触限值，能满足国家和地方对职业病防治方面法律、法规、标准的要求。

建议

1.针对本项目废气处理系统局部排风设施的罩口形式、大小、风道走向未明确设计，其通风系统设计要求如下：1）局部通风设施设置在产生源上方，根据具体情况采取上吸罩、侧吸罩或下吸罩，通风罩类型以设置伞形密闭罩为主，伞形罩的扩张角应小于60°，罩口离发生源的距离越近越好，根据所需要的风量、风压选择风机。2）2）局部机械通风系统各类型排气罩遵循形式适宜、位置正确、风量适中、强度足够、检修方便的设计原则，罩口风速或控制点风速应足以将发生源产生的有害气体吸入罩内，确保达到高捕集效率。局部吸气罩尽可能地密闭、包围或靠近有害物源，排风口尽量布置在有害物产生源附近或有害物浓度最高区域，以便最大限度地把有害物从车间内排出。同时在确定密闭罩进风口的位置、结构和风速时，应使罩内负压均匀，防止毒物外逸。局部排风罩不能采用密闭形式时，根据工艺操作要求和技术经济条件选择适宜的伞形排风装置。

2.应确保主车间（FAB1、FAB2）空调系统新风进风口应设置在室外空气清洁区并低于排风口，对有防火防爆要求的通风系统，其进风口应设在不可能有火花溅落的安全地点，排风口应设在室外安全处。相邻工作场所的进气和排气装置，应合理布置，避免气流短路。

3.建议洗眼器设置要求如下：喷淋洗眼设施设置位置应满足使用者以正常步伐不超过10s能够到达的地方，且距离危险源不超过15m，并在同一操作面上，中间不应有障碍物，喷淋洗眼设施连续供水时间不应小于20min，洗眼器喷头距地面高度宜为0.84-1.14m，喷淋器淋浴喷头距地面高度宜为2.08-2.44m，拉手距地面高度不大于1.75m。

4.毒物报警值应根据有毒气体毒性和现场实际情况设置预报值、警报值、高报值，至少设警报值和高报值。预报值为MAC或PC-STEL的1/2，无PC-STEL的化学物质，预报值可设在相应超限倍数值的1/2；警报值为MAC或PC-STEL值，无PC-STEL的化学物质，警报值可设在相应的超限倍数值；高报值应综合考虑有毒气体毒性、作业人员情况、事故后果、工艺设备等各种因素后设定。

技术审查专家组评审意见

1）细化洁净车间通风系统的描述与评价。

2）细化危险化学品储存、输送过程的描述与分析。